文章摘要:为了在细长管内壁获得性能良好质地均匀的膜层，本文在低气压条件下、采用细长管作真空阴极进行空心阴极辉光等离子体放电。通过研究对多种气氛(纯Ar、纯N2、氮气氩气混合)下平均电流、电流峰值的实时测量对比了不同脉冲占空比条件下等离子体放电流，讨论和分析了多气氛下改变占空比所带来的影响。实验结果显示使用频率为40kHz的脉冲电源，随着占空比变化，脉冲电流波形有显著变化。不同气氛波形不同，但是峰值均提高，平均电流也都上升，纯Ar气氛从20%占空比提高到70%占空比电流峰值从0.325A上升到了0.5A，平均电流由0.12A上升到了0.28A。测量管内不同位置电流的值，发现管内整体电流均匀性纯Ar和混合气氛优于纯N2，Ar在30%～60%占空比区间内，表征均匀性的参数K30%～60%≈0.12。
文章关键词: